酸化亜鉛透明導電膜の構造,電気および光学特性
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概要
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酸化亜鉛(ZnO)透明導電膜は,高透過率,低抵抗率,低温成膜可能,毒性なしといった特徴を有する.最近,筆者らは液晶テレビ共通電極ITO完全代替実装試作技術,ウエット微細加工技術および耐湿性向上技術などの開発に成功した.本稿では応用をにらみ,各種成膜法の特徴,薄膜構造と電気特性,高透過率波長領域幅の拡大制御法などについて解説する.
- 一般社団法人映像情報メディア学会の論文
- 2012-07-01
著者
-
山本 哲也
高知工科大学 総合研究所 マテリアルデザインセンター
-
牧野 久雄
高知工科大学 総合研究所 マテリアルデザインセンター
-
山本 哲也
高知工科大学
-
山本 直樹
高知工科大学 総合研究所
-
牧野 久雄
高知工科大学総合研究所マテリアルデザインセンター
-
山本 直樹
高知工科大学総合研究所マテリアルデザインセンター
-
宋 華平
高知工科大学総合研究所マテリアルデザインセンター
-
山本 哲也
高知工科大学総合研究所マテリアルデザインセンター
-
宋 華平
高知工科大学 総合研究所 マテリアルデザインセンター
-
牧野 久雄
高知工科大学 総合研究所
-
宋 華平
高知工科大学 総合研究所
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