アーク放電蒸着法による酸化亜鉛薄膜の物性制御
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概要
著者
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山本 哲也
高知工科大学 総合研究所 マテリアルデザインセンター
-
粟井 清
高知工科大学総合研究所マテリアルデザインセンター
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山本 哲也
高知工科大学
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白方 祥
愛媛大 工
-
白方 祥
愛媛大学工学部電気電子工学科
-
酒見 俊之
住友重機械工業株式会社
-
粟井 清
住重試験検査株式会社
-
酒見 俊之
住友重機械工業 技術開発セ
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