大面積ZnO透明導電膜実現のための反応性プラズマ蒸着法と薄膜物性
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概要
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- 応用物理学会分科会日本光学会の論文
- 2005-07-10
著者
-
牧野 久雄
高知工科大学綜合研究所
-
山本 哲也
高知工科大学 総合研究所 マテリアルデザインセンター
-
山田 高寛
高知工科大学 総合研究所 マテリアルデザインセンター
-
牧野 久雄
高知工科大学 総合研究所 マテリアルデザインセンター
-
岸本 誠一
高知工科大学総合研究所マテリアルデザインセンター
-
粟井 清
高知工科大学総合研究所マテリアルデザインセンター
-
山田 晃男
高知工科大学総合研究所マテリアルデザインセンター
-
山本 哲也
高知工科大学
-
岸本 誠一
高知工科大
-
山田 晃男
高知工科大
-
牧野 久雄
高知工科大学 総合研究所
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