156 マイクロ・ナノ転写法によるパターニング評価(第2報)(機素潤滑設計I,一般講演)
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概要
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- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2010-03-12
著者
-
菅 哲朗
東京大学 大学院情報理工学系研究科 知能機械情報学専攻
-
下山 勲
東京大学 大学院情報理工学系研究科 知能機械情報学専攻
-
小林 光男
工学院大
-
福田 勝己
東京高専
-
福田 勝己
東京工業高等専門学校
-
小林 光男
工学院大学工学部
-
尾上 弘晃
東京大学 生産技術研究所 マイクロメカトロニクス国際研究センター
-
下山 勲
東大情報理工
-
尾上 弘晃
東大生研
-
野崎 智也
東京高専
-
菅 哲朗
東大情報理工
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