2108 ナノインデンテーション法による多層薄膜のナノ硬さ特性(物性・試験評価法,一般講演)
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概要
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Recently, coating surfaces with hard thin films has been used to prevent strength reduction of the surfaces. This method is effective in reducing the friction and the wear of sliding surfaces in machine structures. The measurement of the thin film is very difficult. However, their characteristics are very important in engineering. In this study, we pay attention to Multi-layer Thin Films used for electronic devices. In order to validate the characteristics of Multi-layer Thin Films, we coated Multi-layer Thin Films such as Titanium (Ti) and Copper (Cu) on glass wafer, and measured Nanohardness characteristics of it by Nanoindentaion.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2010-04-18
著者
-
小林 光男
工学院大
-
小林 光男
工学院大学
-
福田 勝己
東京高専
-
福田 勝己
東京工業高等専門学校
-
小林 光男
工学院大学工学部
-
神津 友貴
東京高専
-
神津 友貴
東京高専専攻科
-
伊藤 拓嗣
エリオニクス
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