ECRプラズマCVDによるプラスチック上へのSiC薄膜の低温形成
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概要
著者
-
佐野 慶一郎
スズキ(株) 技術本部開発第二部
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中西 洋一郎
静岡大学大学院工学研究科電子工学
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畑中 義式
静岡大学大学院電子科学研究科
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野村 雅也
スズキ(株) 技術本部開発第二部
-
玉巻 宏章
スズキ(株)技術本部開発第二部
-
玉巻 宏章
スズキ(株) 技術本部開発第二部
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