オンチップコイル付MAGFETの電気的特性(アナログ・デジアナ・センサ,通信用LSI)
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概要
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外部磁場の大きさを検知するセンサを磁気センサと呼ぶ。主として空間中の磁界強度を測定するために使われるが、この上にコイルを置くことによって、外部磁場を電流で制御することが可能である。本稿では、チップ内にコイルを搭載し、磁気センサに与える磁界を電気信号で制御するシステムについて検討する。MAGFET(Magnetic MOS Field-Effect Transistor)と呼ばれる磁気センサにオンチップコイルを搭載したTEGを試作・測定し、コイルによって生成された直流磁界に対して、MAGFETの感度約2[%/T]を得た。また、コイル電流およびゲート電圧として交流信号を与え、本デバイスで磁場とMAGFETドレイン電流の同期検波が可能であることを確認した。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2007-07-19
著者
-
浅田 邦博
東京大学大規模集積システム設計教育研究センター
-
池田 誠
東京大学 大学院 工学系研究科
-
浅田 邦博
東京大学 大学院 工学系研究科
-
浅田 邦博
東京大学大学院工学系研究科電子工学専攻
-
浅田 邦博
東京大学大規模集積システム設計教育研究センター(vdec):東京大学大学院工学系研究科電気系工学専攻
-
橋本 紘和
東京大学大学院工学系研究科
-
浅田 邦博
東京大学大学院工学系研究科
-
池田 誠
東京大学大学院工学系研究科
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