805 三慣性系の高次微分要素フィードバック位置決め制御(関東支部 茨城講演会)
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概要
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In recent trends in micron order processing technique innovation on LSI and so on, High speed sub micron-order positioning techniques take significant rolls on these improvement. This paper treats tri-inertia system as a simplified model of 3 dimensional instrumentation tool and reports scheme and control method on high speed positioning control in sub-micron order positioning. We focused on low dimensional scheme more elastic part in 3 dimensional axis and tried to suppress vibration on magnified vibration prove by driving vibration suppression actuator, which is mounted on the base of prove, using accelerator sensor on this tip-end.
- 社団法人日本機械学会の論文
- 2005-09-08
著者
-
住谷 秀保
茨大工
-
白石 昌武
茨大工
-
住谷 秀保
茨城大
-
白石 昌武
茨城大
-
住谷 秀保
茨城大学
-
白石 昌武
茨城大学
-
鈴木 大輔
茨城大学
-
住谷 秀保
茨城大学工学部
-
白石 昌武
茨城大学工学部
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