Fluctuations of Device Characteristics : TCAD and DFM
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概要
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With the miniaturization of devices, fluctuations of device characteristics have become a major problem for design for manufacturability (DFM), In this paper, origins of device fluctuations are explained in detail. Fluctuations are basically classified in three categories, wafer-to-wafer, across-the-wafer and within-a-chip fluctuations. Some fluctuations are inevitable by nature, and will far apart from the requirement of ITRS semiconductor roadmap. Technology CAD (TCAD) has been effectively used to understand these fluctuations. Two proposals regarding the usage of TCAD are made for LSI designers.
- 近畿大学工業高等専門学校の論文
- 2005-12-01
著者
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