半導体シミュレーション : 歴史と将来の課題
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概要
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This paper reviews semiconductor simulation technology, focusing on traditional process and device simulation. After summarizing the contents of process and device simulation technology, especially for non-specialists in this field, the history of semiconductor simulation is explained in detail. Then, future problems are described with respect to semiconductor technology roadmap. The inportance of practical applications is emphasized. Finally, the author stressed the adequacy of research on simulation among universities and colleges and calls upon more researchers in this field.
- 近畿大学工業高等専門学校の論文
- 2004-12-01
著者
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