In situ赤外分光測定による蒸着重合薄膜の構造解析に関する研究(圧電デバイス・材料,強誘電体材料,有機エレクトロニクス,一般)
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概要
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アクリル酸亜鉛(ZA)及び長鎖フッ化アクリレート(EFUA)モノマーを電子照射蒸着することによって高分子薄膜を作製し、膜成長過程及び薄膜の安定性を調べるために赤外反射分光法によるその場観察を行った。ZAの製膜では、蒸着時の電子照射によって重合が促進されること、さらに重合は蒸着の初期段階から生じていることが明らかになった。ZAの真空蒸着膜を製膜後に加熱すると、固相重合と再蒸発が同時に進行した。これに対して電子線照射蒸着を行うと、製膜後の加熱によってほとんど変化せず、再蒸発もしない安定な薄膜が得られた。EFUAの単独蒸着では、基板を冷却しなけれぱ膜が堆積しなかった。これに対してZAとEFUAを共蒸着し、ZAのみに電子線照射を行うと、より高い基板温度でも製膜が可能となり、架橋構造を持つ安定なフッ素系高分子薄膜が得られた。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2006-06-23
著者
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