イオン化蒸着法によるAlq_3薄膜の作製とEL素子への応用
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概要
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有機EL素子をその作製法の立場から検討した例は余り多くない。今回、無機材料に用いられているイオン化蒸着法により、発光層として著名なAlq_3の有機薄膜を作製し、その物性評価を行った。膜は非晶質であり、イオン化及び加速条件の最適化により、膜の蛍光強度の増大や残留酸素の減少等の効果が得られることが確認された。また、この膜を発光層としてEL素子を作製したところ、やはりイオン化及び加速条件を適切にコントロールすることで、発光効率や発光輝度の向上が可能であることが示唆された。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1994-06-21
著者
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