2段イオン化蒸着法による有機EL素子用電子注入電極の作製
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概要
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有機電界発光(EL)素子では, 有機材料の安定性や, 有機/金属界面の密着性, 陰極の劣化などが素子寿命を短くする原因となっている。我々は, ITO/PVCz(60 nm)/Alq_3(55 nm)/Mg(500 nm)の構造を持つEL素子を作製し, Alq_3あるいはMgをイオン化蒸着することで, 素子特性の向上を図ってきた。しかし, Mg電極を有機層上に直接イオン化蒸着すると, イオン照射により界面に損傷を生じる可能性がある。そこで, 有機層上に薄くMgの真空蒸着保護層を積層してから連続してイオン化蒸着するという2段蒸着を行い, 素子特性の向上を検討した。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1997-03-06
著者
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