イオン化蒸着法による有機EL用電子注入電極の作成
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概要
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ITO/PVCz:TPD/Alq/Mg構造の有機EL素子において、イオン化蒸着法を用いてMg電極の作成を行った。Mgの真空蒸着による適度な膜厚のバッファー層を設け、イオン化蒸着時のイオンの運動エネルギーとイオンの量を制御することで、とくに発光効率と素子寿命の向上がみられた。発光効率の改善はイオンの量に依存し、界面特性の改善が有効であるのに対し、素子寿命は、イオンの運動エネルギーによって改善され、Mg電極全体の膜質・安定性の向上が有効であると考えられる。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1997-07-23
著者
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