窒化炭素膜のライフサイクルアセスメント(OS9-2 表面設計とトライボロジー(II))
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概要
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In a machine design, a carbon system thin film is beginning to be used from a viewpoint of the cost reduction by the formation of a long-life life. However, coatings hardness and the relation of cost were not considered. This is considered to be for the hardness of a thin film to be dependent on coating equipment and the coating method. Then, in this research, the hardness of a carbon system hard thin film and the relation of cost are proposed as a new view. The conventional coating method of the CN_X (amorphous Carbon Nitride) film expected as a hard thin film was improved from the cost side, and the thin film which has hardness equivalent to the former was created.
- 2004-04-16
著者
-
梅原 徳次
名工大院
-
小沢 秀夫
オイレス工業
-
竹之下 雪徳
オイレス工業(株)テクニカルセンター
-
野老山 貴行
名工大
-
富田 博嗣
オイレス工業
-
野老山 貴行
名古屋大学 大学院工学研究科 機械理工学専攻
-
竹之下 雪徳
オイレス工業
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