2815 電界砥粒制御技術を用いた研磨方法の開発
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概要
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The abrasive particles dispersion typed functional fluid have been found to reciprocate between electrode under AC field at low frequencies. We have tested the positive use of this phenomenon in finishing process. In this study, in order to obtain the high performance 3D polishing test machine. This evaluation test was confirmed that applied electric field to this functional fluid will be expected a increase in polishing effect.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2002-09-20
著者
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