Multicusp Type Electron Cyclotron Resonance Ion Source for Plasma Processing
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概要
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- 社団法人応用物理学会の論文
- 1991-02-15
著者
-
雨宮 宏
中央大学大学院理工学部
-
雨宮 宏
理化学研究所
-
Ishii Shozo
Tokyo Institute Of Technology
-
Ishii Shozo
Department Of Electrical And Electronic Engineering Tokyo Instutute Of Technology
-
AMEMIYA Hiroshi
RIKEN (The Institute of Physical and Chemical Research)
-
ISHII Shigeyuki
Toyama Prefectural University
-
SHIGUEOKA Yoshyuki
RIKEN (The Institute of Physical and Chemical Research)
-
Ishii S
Univ. Tsukuba Tsukuba Jpn
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