Influence of Electron Energy Distribution on the Measurement of Negative Ions
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概要
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The influence of the electron energy distribution function on the probe measurement of negative ions in plasma processing has been investigated using the method of applying the second derivative of probe characteristics and the saturation currents of probe current. Some precautions to be taken to arrive at reliable measurements are described.
- 社団法人プラズマ・核融合学会の論文
- 2001-07-25
著者
-
雨宮 宏
中央大学大学院理工学部
-
雨宮 宏
理化学研究所
-
AMEMIYA Hiroshi
Institute of Physical and Chemical Research
-
遠藤 正雄
中央大学
-
池垣 秀樹
中央大学
-
雨宮 宏
The Institute of Physical and Chemical Research
-
池垣 秀樹
Faculty of Engineering, Chuo University
-
遠藤 正雄
Faculty of Engineering, Chuo University
-
Amemiya Hiroshi
The Institute Of Physical And Chemical Research (riken)
-
池垣 秀樹
Faculty Of Engineering Chuo University
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