APD型撮像管を用いた電子顕微鏡用カメラ : ハ-ピコンアプリケーション(不可視光撮像技術特集)
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概要
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A new type TEM camera with high sensitivity and high resolution have been developed using avalanche-type image pickup tube. (1)Material of thin film scintillator, (2)Structure of lens system to transfer image from scintillator to pickup tube, and (3)Electon beam scanning system were discussed. As the results, it was found that (1)GSO(Gd_2SiO_5) single crystal scintilltor. (2)tandem lens system, and charge storage operation by the beam blanking scanning were useful.
- 社団法人映像情報メディア学会の論文
- 1996-02-23
著者
-
平井 忠明
浜松ホトニクス
-
高口 雅成
日立製作所中央研究所
-
高口 雅成
(株)日立製作所 中央研究所
-
柿林 博司
日立製作所中央研究所
-
柿林 博司
(株)日立製作所中央研究所
-
辻 和隆
(株)日立製作所 日立研究所
-
辻 和隆
日立
-
平井 忠明
(株)日立デバイスエンジニアリング
-
牧島 達男
日立
-
牧島 達男
(株)日立製作所中央研究所NHK放送技術研究所
-
兼堀 恵一
日立
-
兼堀 恵一
(株)日立製作所
-
柿林 博司
(株)日立ハイテクノロジーズ
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