透過電子顕微鏡による微細結晶構造の立体観察 (特集:微細構造内の分析・観察技術)

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概要

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• 半導体基盤技術研究会の論文

著者

• 柿林 博司

  日立製作所中央研究所

• 中村 邦康

  (株)日立製作所中央研究所

• 常田 るり子

  (株) 日立製作所中央研究所

• 常田 るり子

  株式会社日立製作所中央研究所

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