走査透過電子顕微鏡による微細構造の3次元観察と元素/化学結合状態マッピング先端技術(<特集>磁性に関連したセンシング技術の広がりとその最前線)
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概要
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Advanced electron microscopic techniques for threedimensional observation, high sensitivity elemental mapping, and real-time chemical-bonding-state mapping were developed through scanning transmission electron microscopy. Fine structures in nano-materials and advanced devices such as three-dimensional inside and/or surface structures of a Pt super-crystal particle, dopant concentration distributions in less than 0.1% (〜5×10^<19> atoms/cm^3), and oxidation/nitriding states in insulating thin films were successfully visualized using those techniques.
- 社団法人日本磁気学会の論文
- 2005-04-01
著者
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