ガラス状炭素へイオン注入したNaの深さ分布

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概要

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• イオン注入表層処理研究会の論文

著者

• 岩木 正哉

  理研

• 岩木 正哉

  理化学研究所

• 寺島 慶一

  千葉工業大学工学部

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