Alイオン注入したTiN膜の高温酸化
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概要
著者
-
内田 聡
都産技研
-
岩木 正哉
理化学研究所
-
三尾 淳
東京都立産業技術研究所
-
山田 仁
多摩冶金(株)
-
三尾 淳
茨城大学 大学院理工学研究科
-
内田 聡
東京都立産業技術研究所
-
仁平 宣弘
東京都立産業技術研究所
-
狩野 茂
芝浦工業大学 工学部 現
-
狩野 茂
芝浦工業大学 工学部 現 : (株)テクノステート
-
内田 聡
東京都立産業技術研究センター
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