812 炭素または窒素イオン注入した鉄鋼表面の特性
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概要
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Carbon or nitrogen ion was implanted into tool steels by means of different type of ion-implantation equipment, such as beam-line and plasma immersion. Various implantation conditions were used in order to investigate relation between mechanical properties and surface modification by ion implantation. The implanted surface was characterized by X-ray diffractmeter(XRD)for identification of in-situ synthesized carbide and nitride. Auger electron spectroscopy(AES)was used to determine the depth profile of the implanted species. Substrate temperature was estimated from the hardness of tool steel substrate treated at simultaneously. Surface hardness and tribological properties were modified by ion implantation, especially in high-speed tool steel.
- 社団法人日本機械学会の論文
- 2006-09-14
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