イオンプレ-ティングによるTiN膜の摩擦摩耗特性

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概要

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• 東京都立工業技術センタ-の論文

著者

• 三尾 淳

  茨城大学 大学院理工学研究科

• 田中 慎一

  東京都工技セ

• 仁平 宣弘

  東京都産業技研

• 仁平 宣弘

  東京都立工業技術センター

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