107 ポストアニールしたDLC膜の機械的物性の研究(OS 材料の超精密加工とマイクロ加工)
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概要
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The mechanical properties of the post-annealed diamond-like carbon (DLC) films were studied using nano-indentation method and ball-on-disk test. DC ion plating deposition technique has been used to deposit DLC on Si(1OO) substrates. The films were also characterized by Raman spectroscopy and thermal desorptioh spectroscopy (TDS). The hardness of the DLC films was found to decrease above 400℃. The results of Raman spectroscopy and TDS showed that at higher annealing temperatures (400℃ <) graphitization occurred for amorphous DLC with hydrogen desorption. It was found that both friction coefficient and wear rate of these films were unaffected by the post-annealing.
- 社団法人日本機械学会の論文
- 2000-11-24
著者
-
鈴木 薫
日本大学
-
鈴木 薫
日本大学理工学部
-
中森 秀樹
ナノテック
-
角谷 透
ナノテック
-
平塚 傑工
ナノテック
-
西口 晃
ナノテック
-
三尾 淳
東京都立産業技術研究所
-
鈴木 薫
日大理工
-
三尾 淳
茨城大学 大学院理工学研究科
-
平塚 傑工
ナノテック(株)
-
中森 秀樹
ナノテック(株)
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