第 1 部 (35) PSII・DLC 被膜の開発と界面信頼性改善
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概要
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Diamond-Like Carbon (DLC) has superior characteristics that low friction coefficient and high wear resistance, high corrosion resistance. DLC coatings is made use of moulds, tools and mechanical parts. We coated DLC coatings using an ion beam deposition method with a pulse bias (a few kV) of Plasma Source Ion Implantation-PSII method because of an improvement of DLC coatings. We experienced a coating method of a superior DLC coatings by changing of a bias voltage.
- 社団法人日本機械学会の論文
- 2003-03-27
著者
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