MIM-FEDの寿命特性
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概要
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MIM-FED(Metal-Insulator-Metal Field-Emission Display)はMIM電子源を用いたFEDで, 低動作電圧(9V), 表面汚染に強い, 空間的均一性に優れるなどの特徴を持つ。本報告では, MIM電子源の寿命特性を報告する。上部電極材料の最適化, 反転駆動法の開発, トンネル絶縁層材料の高品質化により, 動作寿命を15, 000時間に長寿命化した。また, 低電圧リーク電流の経時変化(ストレス誘起リーク電流, SILC)を測定し, SILCがMIM電子源の絶縁層劣化の鋭敏な評価方法になることを示した。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2001-12-07
著者
-
楠 敏明
(株)日立製作所 日立研究所
-
辻 和隆
(株)日立製作所 日立研究所
-
辻 和隆
日立
-
佐川 雅一
(株)日立製作所日立研究所
-
鈴木 睦三
(株)日立製作所日立研究所
-
鈴木 睦三
(株)日立製作所 日立研究所
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佐川 雅一
(株)日立製作所 日立研究所
-
鈴木 睦三
(株)日立製作所・日立研究所
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楠 敏明
(株)日立製作所・日立研究所
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辻 和隆
(株)日立製作所・日立研究所
-
佐川 雅一
(株)日立製作所・日立研究所
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