最近のMBEとその応用
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概要
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MBE法は将来性ある新しい結晶成長法である.MBEの基本的な事項および現在のMBE技術の重要事項を中心に解説し, III-V族, II-VI族およびSi結晶のMBEによる成長技術の実例を挙げ, MBEの特徴を生かした応用例としての種々の新しい構造の半導体デバイスについて解説する.
- 社団法人映像情報メディア学会の論文
- 1983-11-20
著者
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