EBテスタ観測画像からの知識ベース構築による回路認識

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概要

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最近の大規模化・高密度化したLSIのテスト効率を高める新しい技術として、CADリンク電子ビームテストシステムが注目されている。ところが、このシステムではCADデータベースの利用が前提であるが、レイアウトデータだけしか入手できない場合がしばしば生じている。さらに市販されたVLSIでは、全てのCADデータが紛失してしまっている場合もある。今回、対象となるデバイスのCADデータが全く入手できない場合の故障診断支援システムの構築を目的として、基本回路レイアウトとEBテスタ観測画像からの知識ベースの構築と、知識ベースを用いた回路認識を試みたので報告する。
1995-09-05

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