EBテストシステムにおける画像ベースの多重故障対応自動故障診断法
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概要
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VLSIのテスト効率を高める新しい技術として,CADデータベースとリンクした電子ビーム(EB)テストシステムが注目されている。このシステムにおける論理診断手法として、動的故障伝搬抽出法(DFI:Dynamic fault imaging)が報告されている。先に我々は、DFIの欠点である長い診断時間と蓄積・保存データ量を改善するためCADデータを有効に利用した区分的なDFI法を提案し、この手法が有効であることを示した。この画像ベースの自動故障診断法では、一度に多数の信号配線の論理状態を観測できるため、多重故障の故障原因の追跡に有用であると考えられる。今回、先に報告した区分的なDFI法の画像処理ならびに追跡アルゴリズムを多重故障の追跡が可能なように拡張したので報告する。
- 一般社団法人電子情報通信学会の論文
- 1995-09-05
著者
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