VLSI光学顕微鏡画像からのフラクタル解析による回路ブロック設計手法自動認識の試み

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最近の大規模化・高密度化したLSIのテスト効率を高める新しい技術として、CADリンク電子ビームテストシステムが注目されている。ところが、このシステムではCADデータベースの利用が前提であるが、レイアウトデータだけしか入手できない場合がしばしば生じている。さらに、市販されたVLSIでは、全てのCADデータが紛失してしまっている場合もある。このような対象となるデバイスのCADデータが全く入手できない場合の故障診断支援システムの構築を目的として、基本回路レイアウト、EBテスタ観測画像および光学顕微鏡画像からの知識ベースの備築と、知識ベースを用いた回路認識を我々は試みている。VLSIは各種機能を持った回路ブロックから構成され、その機能に応じて異なった設計手法を用いて設計されるのが通常である。このようなVLSIの回路認識には、設計手法に対応して構築した知識ベースを、認識する回路ブロックに応じて切り替えることが効率的であると考えられる。このために回路ブロックの設計手法を自動的に認識する手法が要求される。今回、各種設計手法を用いて製作された回路ブロックの光学顕微鏡画像のフラクタルを解析することにより、設計手法を識別することを試みたので報告する。
社団法人電子情報通信学会の論文
1995-09-05

VLSI光学顕微鏡画像からのフラクタル解析による回路ブロック設計手法自動認識の試み

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