LSI生産システムにおけるウェーハテスト工程の評価(II)
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概要
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LSIの集積化技術の進歩に伴いテストの困難性が増し、テストコストが製造コストに占める割合が急激に増大している。先に我々は、LSI生産システムの流れ及び各工程をモデル化し、そのシミュレーション手法を提案した。これを、まず単品種の生産システムのコスト評価に適用した。さらに、この手法を14製品種のウェーハテスト工程に適用し、コストを最適にするLSIテスタ台数を評価した。今回、この手法を数百製品種のウェーハテスト工程に適用するため、シミュレーションプログラムを拡張した。これを多品種LSIのテスト工程に適用し、一月当りの製造ロット数に必要な装置台数の最適化を図り、そのコスト評価を行ったので報告する。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1995-09-05
著者
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