LSI生産システムにおけるウェーハテスト工程の評価
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
LSIの集積化技術の進歩に伴いテストの困難性が増し、テストコストが製造コストに占める割合が急激に増大している。先に我々は、LSI生産システムの流れ及び各工程をモデル化、そのシミュレーション手法を提案し、単品種の生産システムのコスト評価に適用した。今回、この手法を多品種生産システムに適用し、ウェーハテスト工程を評価したので報告する。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1994-09-26
著者
-
中前 幸治
大阪大学工学部情報システム工学科
-
藤井 正行
大阪大学大学院工学研究科情報システム工学専攻
-
藤岡 弘
大阪大学工学部情報システムエ学科
-
藤井 正行
大阪大学工学部情報システム工学科
-
阪本 誉
大阪大学工学部情報システム工学科
関連論文
- EBテスタ観測画像からの知識ベース構築による回路認識
- EBテストシステムにおけるプロービング点自動決定アルゴリズム
- EBテストシステムにおける保護膜付きVLSIの画質改善
- VLSI光学顕微鏡画像からのフラクタル解析による回路ブロック設計手法自動認識の試み
- CADリンクEBテストシステムによるVLSI故障診断の新技法
- EBテストシステムにおけるレイアウト辞書を用いたVLSI故障追跡法
- LSI生産システムにおけるウェーハテスト工程の評価
- LSI生産システムにおけるウェーハテスト工程の評価(II)
- LSI生産システムにおけるウェーハテスト工程の評価
- EBテストシステムにおける画像ベースの多重故障対応自動故障診断法
- EB テストシステムにおける画像ベースの自動故障診断法