EBテストシステムにおけるプロービング点自動決定アルゴリズム

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最近の大規模化・高密度化したLSIのテスト効率を高める新しい技術として、CADリンク電子ビームテストシステムが注目されている。このテストシステムでは、CADデータベースのレイアウト、回路接続を示すネットリスト、回路図、及び、実デバイスのレイアウトが相互にリンクされている。我々は、CADデータ上から測定したい信号配線のネット名を指定するだけでそのネットに対応した実デバイス上の信号波形を測定できるシステムの構築を目指している。この際の問題点は、測定プロープとなる電子ビームを用いて精度良く信号波形を測定するためには、配線のどの箇所をプロービング点と決定するかである。例えば、隣接配線に近い場所では、局所電界効果により電位測定精度は劣化する。このような電位測定精度の劣化要因を出来るだけ避けて、プローピング点を決定するアルゴリズムが要求される。我々は、先に、CADデータベースとしてレイアウトデータだけしか利用できない場合の故障診断手法として、CADレイアウトからの逐次回路抽出によるVLSI自動故障追跡法を提案した。本報告では、逐次回路抽出アルゴリズムで得られるレイアウトデータを利用したプロービング点自動決定アルゴリズムについて報告する。
1994-09-26

EBテストシステムにおけるプロービング点自動決定アルゴリズム

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