薄板振動型シリコンレートセンサの提案
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概要
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近年注目を集めている振動型シリコンレートセンサでは振動片の共振を用いることにより、高感度なデバイス設計が可能である。しかしながら、高感度化にともなう安定度の低下が問題となる。本報告では高感度かつ高安定なデバイスの構造及び駆動方法を提案する。
- 1995-09-05
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