振動型MEMSセンサの周辺回路技術(アナログ・デジアナ・センサ, 通信用LSI)

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概要

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近年、圧力センサ、加速度センサ、ジャイロなどMEMS技術を用いた多くのセンサが開発され、実用に供されるようになってきた。これらのデバイスの多くは、小型軽量化、低価格化、量産化など、MEMSの最大の特徴を生かし、アプリケーションに最適化した設計・開発が行われており、必ずしもセンサの基本性能を向上させることに重点がおかれるとは限らなかった。しかしながらMEMSデバイスの用途をより広げるためには、センサの基本機能、例えば分解能や安定度などを可能な限り向上させるという方針も必要であり、そのためにはこれまでとは異なったアプローチも必要であると考えられる。本報告では、原理的に分解能・精度が高いと考えられる振動型センサに注目し、振動型加速度センサおよび振動型角速度センサを提案、試作しその周辺回路を構築し、これらのデバイスの高分解能化に対する指針を得たので報告する。
2005-07-07

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