リードフレーム・パッケージにおける同時スイッチング・ノイズ
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概要
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プラスチック・パッケージには、リードフレーム材質として42アロイやCuが使われている。特に、42アロイは強磁性体であることから、透磁率が大きいためにインダクタンスが大きく、同時スイッチング・ノイズ(ΔIノイズ)が懸念される。本報告では、材質の異なる3種類のリードフレーム(42アロイ、Cu、Agメッキ42アロイ)のインダクタンスおよび抵抗の周波数特性を測定し、かつCMOテスト・デバイスを用いてΔIノイズを測定し、リードフレーム材質の違いを明らかにした。また、電源, GNDの接続本数の影響も調べ、パッケージの設計指針を得た。
- 1994-11-25
著者
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須藤 俊夫
東芝半導体デバイス技術研究所
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三浦 正幸
(株)東芝半導体デバイス技術研究所
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蛭田 陽一
東芝半導体デバイス技術研究所
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蛭田 陽一
(株)東芝 半導体生産技術推進センター
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三浦 正幸
東芝半導体デバイス技術研究所
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平野 尚彦
東芝半導体デバイス技術研究所
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