プラスチックパッケージでの応力測定素子開発とその応力

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概要

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プラスチックパッケージ内部の応力を測定するために、ピエゾ抵抗効果を用いた応力測定素子の開発を行った。このピエゾ係数はウェハより切り出したシリコン片に直接4点曲げを行うことによって較正を行い、ピエゾ係数π11+π12,π44を得た。またそれらのピエゾ係数を用いて、プラスチックパッケージでのモールド工程において80〜120(MPa)の圧縮応力を測定し、これは多層梁モデルによって求めた値と一致する。
1994-11-25

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