方形チップ格子上のウェーハ配置最適化(VLSI設計技術とCAD)
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概要
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ウェーハ1枚当りのチップ収量を最大とするため, 最近, チップ格子上のウェーハ配置に注目が集まっている.しかし, この最適化問題に対する真の最適解を求めるアルゴリズムは, これまで示されていなかった.本論文では, チップ収量が増減する幾何学的条件を明らかにし, グラフ理論と計算幾何学に基づいて, 真の最適解を与えるアルゴリズムを示した.これは, 真の最適解を与えるアルゴリズムとしては初めてのものであるだけでなく, ウェーハ位置の誤差も考慮した実用的なものである.なお, ウェーハ中心をチップ中心あるいは四隅に配置する素朴なアルゴリズムと比較した場合, 本アルゴリズムはチップ収量率を最大8%増加させる.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2005-04-01
著者
-
品野 勇治
東京農工大学
-
品野 勇治
東京農工大学院共生科学技術研究部
-
深川 容三
キヤノン株式会社
-
深川 容三
キヤノン(株)
-
中森 眞理雄
東京農工大学
-
和田 倶幸
東京農工大学工学部
-
中森 眞理雄
東京農工大 大学院共生科学技術研究院
-
中森 眞理雄
東京農工大学 工学府情報工学専攻
-
中森 真理雄
東京農工大学工学部数理情報工学科
-
和田 倶幸
Department Of Mathematics Tokyo University Of Agriculture And Technology
-
和田 倶幸
東京農工大学工学研究院
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