方形 AT 板スプリアスにおける表面電荷分布の測定と解析
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概要
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近年多数使用されるストリップ状方形AT板の設計には,XおよびZ′両方向に位相変化する多数のスプリアスを回避するため,精度が良いスプリアス解析法が要求される.現在,Mindlinの平板方程式に基づいた近似解析法が最も実用度が高いが,その近似度は十分検討されていない.本論文では,方形AT板で励振されるスプリアスのモードを明確にすると共に,その特性解析に対する平板方程式の適用性を検討するため,スプリアスの表面電荷分布を実験的に解析し計算と比較する.電気探針法の原理を応用した表面電荷高精度測定システムによる実験と計算結果から,板の非対称によって励振されたものと予想される微弱な共振を除き,すべてのスプリアスが厚み屈曲および面すべり-屈曲に属していることが明らかにされる.また,平板方程式の近似改善には,厚み屈曲と面すべり-屈曲モードとの結合を調整する必要があることも示される.
- 1994-03-25
著者
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