電極金属の反射特性を利用した鏡面圧電振動子の面内振動測定
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概要
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表面が鏡面加工された圧電振動デバイスの面内振動分布可視化法が述べられる.入射光に対する電極金属の反射,吸収特性を利用することでデバイス表面が鏡面であっても面内変位が測定可能であることが示される.この方法では振動変位の絶対値は求められない反面,測定系がシンプルであり,かつ極めて測定時間が短い利点を有する.鏡面加工されたバイメサ形状AT-カット水晶振動子の測定結果と解析結果との比較から本法の有効性が示される.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2004-01-21
著者
-
山本 徹
藤田保健衛生大学胸部外科
-
佐藤 隆幸
首都大学東京大学院理工学研究科
-
山本 徹
松下電器産業(株)
-
関本 仁
首都大学東京大学院理工学研究科
-
五箇 繁善
首都大学東京大学院理工学研究科
-
渡部 泰明
東京都立大学大学院工学研究科
-
五箇 繁善
東京都立大学大学院工学研究科
-
佐藤 隆幸
東京都立大学大学院工学研究科
-
関本 仁
東京都立大学大学院工学研究科
-
山本 徹
東京都立大学大学院工学研究科
-
山本 徹
拓殖大学工学部電子システム工学科
-
山本 徹
電子開発学園
-
佐藤 隆幸
首都大院
-
山本 徹
島根大学消化器・総合外科
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