レーザスペックルとデバイス間欠励振を利用した振動変位絶対測定(音響・超音波サブソサイエティ合同研究会)
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概要
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圧電デバイスをその共振周波数で駆動したときの振動変位分布測定は,素子設計上重要である.ここでは,デバイス駆動時と非駆動時のレーザスペックル画像の輝度差から,その振動変位分布と面内変位の絶対値を測定する方法を述べる.この方法は,被測定デバイスの帯域に制限が無く,光学系を含む測定システムが極めてシンプルである点に特長を持っている.また,振動変位が既知である素子での測定による絶対測定の検証を行うと共に,実際のVHF帯水晶振動子に適用した結果を示すことで提案方法の有効性が示される.
- 2007-01-18
著者
-
佐藤 隆幸
高知大学循環制御学
-
佐藤 隆幸
首都大学東京大学院理工学研究科
-
佐藤 隆幸
高知大学循環制御
-
渡部 泰明
首都大学東京大学院理工学研究科
-
関本 仁
首都大学東京大学院理工学研究科
-
五箇 繁善
首都大学東京大学院理工学研究科
-
石井 直
首都大学東京大学院 理工学研究科
-
佐藤 隆幸
タイ
-
渡部 泰明
首都大学東京
-
佐藤 隆幸
首都大院
-
五箇 繁善
首都大学東京
-
関本 仁
首都大学東京
-
佐藤 隆幸
首都大学東京
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