バースト励振を利用した簡易レーザ干渉システムによる圧電振動デバイスの面外振動変位可視化(<特集>光-超音波エレクトロニクス論文特集)
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概要
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従来のレーザ干渉計による圧電デバイスのモード可視化法では,被測定振動子の駆動周波数以上の周波数帯域をもつ光検出系が必要とされるため,高周波素子への適用には高価な計測システムが必要とされていた.本論文では,圧電振動子をバースト波で間欠的に駆動し,振動子表面上で得られる干渉信号をバースト周期で同期検波する簡易測定法が提案される.実際にマイケルソン干渉計に基づくシステムが構築され,提案法の有効性が示される.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2003-12-01
著者
-
佐藤 隆幸
首都大学東京大学院理工学研究科
-
関本 仁
首都大学東京大学院理工学研究科
-
五箇 繁善
首都大学東京大学院理工学研究科
-
渡部 泰明
東京都立大学大学院工学研究科
-
五箇 繁善
東京都立大学大学院工学研究科
-
佐藤 隆幸
東京都立大学大学院工学研究科
-
関本 仁
東京都立大学大学院工学研究科
-
北堀 洋
東京都立大学大学院工学研究所
-
佐藤 隆幸
首都大院
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