レーザスペックル振動変位測定法への二次元相関フィルタの応用
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概要
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圧電振動デバイス表面のスペックル干渉を利用した振動変位分布測定法への2次元相関フィルタの適用が検討される.本法により従来のスペックル干渉法に比べ,了解度の高い振動変位パターンが得られることが示される.また,レーザ入射角を適切に選択することで,面内・面外振動を分離測定できることも示される.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2002-04-15
著者
-
佐藤 隆幸
首都大学東京大学院理工学研究科
-
関本 仁
首都大学東京大学院理工学研究科
-
五箇 繁善
首都大学東京大学院理工学研究科
-
渡部 泰明
東京都立大学大学院工学研究科
-
五箇 繁善
東京都立大学大学院工学研究科
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佐藤 隆幸
東京都立大学大学院工学研究科
-
関本 仁
東京都立大学大学院工学研究科
-
佐藤 隆幸
首都大院
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