表面電荷測定による圧電振動板微小振動モードの検出

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概要

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本文では、圧電振動子において、主共振特性に悪影響を与える近接微弱スプリアス共振の一検出方法が述べられる。波長の短いスプリアス共振は、主振動に比べ等価インダクタンスが大きいため、伝送法等の一般的な測定法では検出困難な場合があった。提案する方法は電界印加時振動板表面に励起される電荷分布を利用したものである。この方法の特長は、従来法において電極により相殺されていた位相の異なる微小共振の表面電荷を別々に取出し、それら周波数特性を調べることで微小スプリアスの検出を行なう点にある。AT板水晶を用い, 従来法と本法の実験結果の比較から本法の有効性が示される。
1998-11-16

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