水晶振動子のスプリアスモードを利用した微量質量センサーに関する一考察
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概要
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水晶振動子の質量付加効果を利用した微量質量センサ,所謂QCM(Quartz crystnal Microbalamce)はその高い感度特性により,種々の微量質量測定に応用されている.これらの応用では主として基本厚みすべりモードにおける質量付加効果が利用されている.しかし,これらを室外で使用するような場合には,環境変化に伴う振動子の周波数ドリフトにより,長期間に渡る測定結果に十分な信頼性を期待することは難しい.特に送電系統の塩害検出に応用する場合には,長期連続観測が必須であり,かつ温度・湿度等の影響を振動子が直接受けるため,主振動のみの測定では正確な塩の付着量を検出することが困難であった.そこで本論文では塩害センサーへの応用を目的として,振動子の複数のモードを利用する微量質量測定方法を提案する.これは振動子が持つ不要共振を積極的に利用するもので,主振動とスプリアスモードとの感度差・温度係数の違いから環境等による影響を除去し,付着質量のみを正確に検出するものである,ここでは,その予備実験として行った実験の結果が示される.
- 1996-03-11
著者
-
渡部 泰明
東京都立大学大学院工学研究科
-
五箇 繁善
東京都立大学大学院工学研究科
-
関本 仁
東京都立大学大学院工学研究科
-
大村 芳正
東京都立大学電子情報工学科
-
大村 芳正
東京都立大学工学部
-
万木 俊一
東京都立大学工学部
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