コンデンサマイクロフォンによる方形水晶板表面振動変位分布計測
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概要
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音響用コンデンサマイクロフォンを用いた水晶振動子表面振動変位の一測定法が述べられる。この方法では振動子駆動電流に強度振幅変調を与え、振動膜に針を接着したマイクロフォンによってその変位成分を検出する。振動変位分布は針を2次元スキャンし検出された信号の強度をマッピングすることで求められる。ここでは辺比の異なる2種類の方形AT板水晶振動子を試料とした実験が行われ、FEMによる計算結果との比較から本法の有用性が示される。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1998-06-16
著者
-
渡部 泰明
東京都立大学大学院工学研究科
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五箇 繁善
東京都立大学大学院工学研究科
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関本 仁
東京都立大学大学院工学研究科
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庚 原
東京都立大学大学院工学研究科
-
新倉 謙太郎
東京都立大学大学院工学研究科
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