確率信号モデルに基づく真空ドライポンプの稼働寿命の予測可能性の検討
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概要
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真空ドライポンプの稼働寿命の予測の可能性についてSiO_2TEOS CVDプロセスで得られた加速寿命試験データを利用して検討を行なった.その結果, 線形予測法により得られた予測値はポンプ稼働寿命を予測できる可能性があることが分かった.
- 1998-08-21
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