高密度光集積用Si細線導波路
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概要
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我々はSOI基板上に単一モード条件を満たす幅0.5μmのSi細線導波路によってLSIにおけるクロックスキュー解消のための光インターコネクションを検討した.クロック信号を分配するために必要な分岐として曲がり導波路結合型分岐分岐を提案し,0.3dBの低損失を実証した.そこでこの分岐を用いて導波路をH-tree状に配置した光信号分配回路を製作した.1.5μm帯のレーザ光に対して光散乱がほとんどない分岐が確認され,8つの出力ポート全てからの出射光を観測した.出射スペクトルを観測したところ,分配強度のばらつきはTE/TM両偏波ともに4〜6dBであった.各分岐の分岐比ばらつきと入出射端面間のファブリペロー共振を抑制することで,この値は改善できるだろう.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2002-05-17
著者
-
馬場 俊彦
横浜国立大学電子情報工学科
-
坂井 篤
横浜国立大学工学部電子情報工学科
-
馬場 俊彦
横浜国立大学工学研究院
-
馬場 俊彦
横浜国立大学
-
坂井 篤
横浜国立大学大学院工学研究院
-
深澤 竜彦
横浜国立大学工学研究院
-
馬場 俊彦
横浜国大 大学院工学府
-
馬場 俊彦
横国大院工
-
馬場 俊彦
横浜国立大学大学院工学研究院:jst-crest
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